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摘要:真空检测法是一种重要的检测方法,其原理是通过检测真空系统中的压力变化来判断系统的真空度。该方法广泛应用于航空航天、电子、半导体等领域。本文简要介绍了真空检测法的基本原理,详细分析了其在不同领域的应用,包括真空系...